ELECTROSTATIC ABSORPTION APPARATUS AND VACUUMPROCESSING APPARATUS 静電吸着装置及び真空処理装置 - 特許庁
The vacuum part 132 executes the vacuumprocessing to the temporary memory 12. バキューム部132は、テンポラリメモリ12に対して、バキューム処理を実行する。 - 特許庁
VACUUM EXHAUST METHOD FOR SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS 基板処理装置の真空排気方法及び基板処理装置 - 特許庁
To provide a vacuum transfer device and a vacuumprocessing device capable of continuous processing at a high speed. 高速で連続的な処理が可能な真空搬送装置及び真空処理装置を提供する。 - 特許庁
CONVEYING DEVICE, VACUUMPROCESSING DEVICE, AND O-RING 搬送装置,真空処理装置およびOリング - 特許庁
VACUUMPROCESSING SYSTEM AND PRELIMINARY SUBSTRATE HEATING METHOD 真空処理システム及び基板予備加熱方法 - 特許庁
VACUUMPROCESSING UNIT, SEMICONDUCTOR PRODUCTION LINE EMPLOYING IT AND VACUUMPROCESSING METHOD OF SAMPLE 真空処理装置およびそれを用いた半導体製造ラインおよび試料の真空処理方法 - 特許庁
PROCESSING OF DEEP OCEAN WATER BY VACUUM FREEZE-DRYING 海洋深層水の真空冷凍乾燥加工 - 特許庁