「vacuum processing」を含む例文一覧(1012)
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プラズマ真空装置及びプラズマ真空処理方法 - 特許庁 - VACUUM PROCESSING APPARATUS AND PLASMA PROCESSING METHOD
真空処理装置およびプラズマ処理方法 - 特許庁 - APPARATUS AND METHOD FOR VACUUM PROCESSING
真空処理装置及び方法 - 特許庁 - VACUUM PROCESSING APPARATUS AND ION PUMP
真空処理装置及びイオンポンプ - 特許庁 - ADSORBER, AND VACUUM PROCESSING DEVICE
吸着装置、真空処理装置 - 特許庁 - VACUUM PROCESSING APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD OF MEMBER FOR VACUUM PROCESSING APPARATUS
真空処理装置及び真空処理装置用部材の製造方法 - 特許庁 - THERMAL CONDUCTION TYPE VACUUM GAGE, AND VACUUM PROCESSING DEVICE HAVING VACUUM CONTAINER INCLUDING THE VACUUM GAGE
熱伝導型真空計及びそれを備えた真空容器を有する真空処理装置 - 特許庁 - VACUUM PROCESSING APPARATUS, AND VACUUM TREATMENT METHOD OF SUBSTRATE
真空処理装置及び基板の真空処理方法 - 特許庁 - VACUUM GENERATING MECHANISM IN PROCESSING MACHINE
加工装置のバキューム生成機構 - 特許庁 - VACUUM PROCESSING APPARATUS AND METHOD OF FORMING VACUUM SPACE
真空処理装置及び真空空間の形成方法 - 特許庁 - VACUUM PROCESSING APPARATUS, PRESSURE REDUCTION PROCESSING METHOD, AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD
真空処理装置，減圧処理方法，基板処理方法 - 特許庁 - COOLING UNIT OF VACUUM PROCESSING DEVICE
真空処理装置の冷却装置 - 特許庁 - METHOD OF OPERATING VACUUM PROCESSING APPARATUS
真空処理装置の運転方法 - 特許庁 - OPERATIONAL METHOD OF VACUUM PROCESSING APPARATUS
真空処理装置の運転方法 - 特許庁 - LOAD LOCK CHAMBER FOR VACUUM PROCESSING SYSTEM
真空処理装置用ロードロック室 - 特許庁 - VACUUM-PROCESSING APPARATUS FOR LARGE SUBSTRATE
大型基板用真空処理装置 - 特許庁 - VACUUM PROCESSING DEVICE AND EXHAUST RING
真空処理装置及び排気リング - 特許庁 - SURFACE STRUCTURE FOR VACUUM PROCESSING CHAMBER
真空処理室用表面構造 - 特許庁 - VACUUM PROCESSING APPARATUS, OPERATING METHOD OF THE VACUUM PROCESSING APPARATUS, AND RECORDING MEDIUM
真空処理装置、真空処理装置の運転方法及び記憶媒体 - 特許庁 - VACUUM PROCESSING APPARATUS AND VACUUM PROCESSING METHOD, AND THIN FILM MANUFACTURING METHOD
真空処理装置及び真空処理方法並びに薄膜作製方法 - 特許庁 - To improve maintenability inside a vacuum processing chamber of a vacuum processing apparatus.
真空処理装置の真空処理室内部のメンテナンス性を改善する。 - 特許庁 - VACUUM PROCESSING APPARATUS, MANUFACTURING METHOD OF ELECTRONIC COMPONENT, AND VACUUM PROCESSING PROGRAM
真空処理装置、電子部品の製造方法及び真空処理プログラム - 特許庁 - METHOD OF PROCESSING SUBSTRATE IN VACUUM PROCESSING APPARATUS
真空処理装置における基板の処理方法 - 特許庁 - VACUUM DRYER AND PROCESSING TANK THEREOF
真空乾燥機及びその処理槽 - 特許庁 - TERMINAL UNIT FOR VACUUM PROCESSING APPARATUS
真空処理装置用の端子ユニット - 特許庁 - VACUUM-PROCESSING APPARATUS FOR LARGE-SIZED SUBSTRATE
大型基板用真空処理装置 - 特許庁 - CARRIER DEVICE AND VACUUM PROCESSING DEVICE
搬送装置及び真空プロセス装置 - 特許庁 - CONTROL DEVICE AND VACUUM PROCESSING DEVICE
制御装置及び真空処理装置 - 特許庁 - CARRYING DEVICE AND VACUUM PROCESSING DEVICE
搬送装置及び真空処理システム - 特許庁 - SUBSTRATE CARRIER, AND VACUUM PROCESSING APPARATUS
基板搬送装置、真空処理装置 - 特許庁 - VACUUM CONTAINER AND PLASMA PROCESSING DEVICE
真空容器およびプラズマ処理装置 - 特許庁 - GROUNDING ASSEMBLY FOR VACUUM PROCESSING APPARATUS
真空処理装置用の接地アセンブリ - 特許庁 - ELECTROSTATIC CAPACITANCE DIAPHRAGM VACUUM GAUGE AND VACUUM PROCESSING APPARATUS
静電容量型隔膜真空計及び真空処理装置 - 特許庁 - SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING VACUUM CHAMBER
真空室を有する基板処理装置 - 特許庁 - ION IRRADIATION DEVICE AND VACUUM PROCESSING EQUIPMENT
イオン照射装置、真空処理装置 - 特許庁 - VACUUM PROCESSING APPARATUS, AND PROCESSING METHOD USING THE SAME
真空処理装置、及び、それを用いた処理方法 - 特許庁 - VACUUM PROCESSING APPARATUS AND TRANSFER PROCESSING METHOD OF SUBSTRATE
真空処理装置及び基板の搬送処理方法 - 特許庁 - ATTRACTION DEVICE AND VACUUM PROCESSING APPARATUS
吸着装置及び真空処理装置 - 特許庁 - METHOD AND APPARATUS FOR VACUUM PROCESSING
真空処理方法と真空処理装置 - 特許庁 - VACUUM PROCESSING APPARATUS AND HIGH FREQUENCY POWER SUPPLYING METHOD IN VACUUM PROCESSING APPARATUS
真空処理装置、真空処理装置における高周波電力供給方法 - 特許庁 - LOAD LOCK DEVICE AND VACUUM PROCESSING SYSTEM
ロードロック装置および真空処理システム - 特許庁 - LOAD LOCK APPARATUS AND VACUUM PROCESSING APPARATUS
ロードロック装置および真空処理装置 - 特許庁 - VACUUM PROCESSING SYSTEM FOR GENERATING OXYGEN ION
酸素イオン発生用真空処理装置 - 特許庁 - ULTRA HIGH THROUGHPUT WAFER VACUUM PROCESSING SYSTEM
超高スループット・ウェハ真空処理システム - 特許庁 - SUCKING DEVICE AND VACUUM PROCESSING DEVICE
吸着装置及び真空処理装置 - 特許庁 - The cryopump evacuates gas from the vacuum chamber of the vacuum device performing the vacuum processing.
クライオポンプは、真空処理を行う真空装置の真空チャンバからガスを排気する。 - 特許庁 - DEGASSING PROCESSING DEVICE OF VACUUM TREATMENT APPARATUS, AND VACUUM TREATMENT APPARATUS
真空処理装置の脱ガス処理装置および真空処理装置 - 特許庁 - MATCHING BOX, VACUUM DEVICE USING THE SAME, AND VACUUM PROCESSING METHOD
マッチングボックス、それを用いた真空装置、及び真空処理方法 - 特許庁 - PROCESSING OBJECT TRANSFER METHOD IN VACUUM PROCESSING DEVICE
真空処理装置における処理対象物搬送方法 - 特許庁 - SUBSTRATE HEATER, VACUUM PROCESSING DEVICE, AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD
基板ヒーター、真空処理装置、及び基板処理方法 - 特許庁
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