sourcing outputとは意味・読み方・使い方

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意味・対訳ソーシング出力

日英・英日専門用語辞書での「sourcing output」の意味

sourcing output

ソーシング出力

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該当件数 : 1件

例文

A high voltage DC power supply 104 that is capable of both sourcing and sinking current at any polarity of output voltage level is coupled to at least one built-in electrode 118 of an electrostatic chuck 114 to dynamically control the chucking voltage in accordance with any parameters of optimal chucking, including a leakage current, a potential difference between the wafer and chuck, and a backside gas leakage rate.例文帳に追加

任意の極性の出力電圧レベルにおいて、電流をソーシング及びシンキング両方に実施できる高圧直流電源１０４を、静電チャック１１４の少なくとも１つの埋込み電極１１８に結合し、漏れ電流、チャック対ウェーハ電位、後部ガス漏れレート等を含む最適チャッキングの任意の指標に応じて、チャッキング電圧を動的に制御する。 - 特許庁

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