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うず電流式厚さ測定器の英語
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英訳・英語 eddy‐current instrument for measuring thickness
「うず電流式厚さ測定器」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
電極１１と、電極１１上に設けられた絶縁膜１５と、を有する静電チャック１００の管理方法であって、渦電流式膜厚測定器２００を用いて、絶縁膜１５の膜厚を測定し、測定された絶縁膜１５の膜厚値と予め設定された基準値とを比較する。例文帳に追加
The method of managing an electrostatic chuck 100 including an electrode 11 and an insulating film 15 provided on the electrode 11 uses an eddy-current-type film thickness measuring device 200 to measure the film thickness of the insulating film 15, and compares the measured film thickness value of the insulating film 15 with a previously set reference value. - 特許庁
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eddy‐current instrument for measuring thickness
JST科学技術用語日英対訳辞書
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