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おきたまち５ちょうめの英語
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（１）ＥＵＶ放射のプラズマ光を長時間安定させ（２）放射立体角が大きく（３）プラズマ媒体を連続供給し（４）出力を高めかつ放電ジッターを低減する（５）プラズマ中の不純物を防止して変換効率を高めるプラズマ光源を提供する。例文帳に追加
To provide a plasma light source that (1) stabilizes plasma light of EUV emission for a long time, (2) has a large emission solid angle,(3) continuously supplies a plasma medium,(4) increases output and reduces discharge jitters, and (5) prevents impurities from being in plasma to enhance conversion efficiency. - 特許庁
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