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アーク発振器の英語
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ガスレーザー発振器の放電励起部におけるプラズマ状態を適確に監視することにより、アーク放電などの不均一なプラズマ状態を正確に検知して、ガスレーザー発振器や周辺機器を保護したり、それらを早期回復させるための情報を得ることができるガスレーザー発振器のプラズマ監視装置を提供する。例文帳に追加
To provide a plasma monitor for a gas laser oscillator that can acquire information for protecting the gas laser oscillator and peripheral equipment and recovering them early by accurately monitoring the plasma state in a discharge exciting part of the gas laser oscillator to correctly detect an uneven plasma state such as arc discharge. - 特許庁
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