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カセットリフタの英語
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カセットリフタ２から搬送された半導体ウエハＷは、ウエハ修正シュートによって位置決め固定された後、ウエハ画像認識カメラ４が、半導体ウエハＷ全体の画像を取り込む。例文帳に追加
A semiconductor wafer W transferred from a cassette lifter 2 is positioned and fixed by a wafer correction chute, and then a wafer picture recognition camera 4 picks up the entire picture of the semiconductor wafer W. - 特許庁
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