カセットローダの英語

カセットローダ室１０に連結モジュール３００を取り外し可能に取り付ける。例文帳に追加

Connecting modules 300 are attached to a cassette loader chamber 10 so as to be removable. - 特許庁

カセットローダ室１０の室壁１２に、連結モジュール３００、３００’を取り外し可能に取り付ける。例文帳に追加

Connection modules 300 and 300' are attached detachably to a chamber wall 12 of a cassette loader chamber 10. - 特許庁

各連結モジュール３００では、外ゲートバルブ６２、ロードロック室５２、ゲートバルブ６４、搬送室５４、ゲートバルブ６６及び反応処理室５６をカセットローダ室１０からこの順に連結配置する。例文帳に追加

In each connecting module 300, an outer gate valve 60, a load lock chamber 52, a gate valve 66, and a reaction treatment chamber 56, are connected and arranged in this order from the chamber 10. - 特許庁

取り出したカセット６をカセットローダ９により受渡し部３上方へと搬送し、カセット姿勢変換機構１１及びオリフラ／ノッチ合わせ機構１２によりカセット６内のウェーハ５のオリフラ又はノッチ合わせを行う。例文帳に追加

The cassette 6, taken out from the cassette housing box 2, is transferred above the delivery section 3 by a cassette loader 9, and the orientation flats and notch matching of the wafers 5 inside the cassette 6 are aligned by a cassette position conversion mechanism 11 and an orientation flat/notch alignment mechanism 12. - 特許庁