load lock chamberとは 意味・読み方・使い方

LOAD-LOCK EQUIPMENT FOR LOADING VACUUM CHAMBER WITH SUBSTRATE例文帳に追加

真空室に基板を装填するためのロードロック装置 - 特許庁

LOAD LOCK CHAMBER FOR VACUUM PROCESSING SYSTEM例文帳に追加

真空処理装置用ロードロック室 - 特許庁

VACUUM CHAMBER LOAD LOCK STRUCTURE AND ARTICLE TRANSPORT MECHANISM例文帳に追加

真空チャンバロードロック構造及び物品搬送機構 - 特許庁

LOAD LOCK CHAMBER AND FILM DEPOSITION METHOD例文帳に追加

ロードロックチャンバ及び成膜方法 - 特許庁

LOAD-LOCK CHAMBER, EXPOSURE DEVICE, METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加

ロードロックチャンバー、露光装置、デバイスの製造方法 - 特許庁

LOAD LOCK CHAMBER, PROCESSING SYSTEM, AND PROCESSING METHOD例文帳に追加

ロードロック室、処理システム及び処理方法 - 特許庁

DEVICE FOR INTRODUCING GAS INTO LOAD LOCK CHAMBER例文帳に追加

ロードロックチャンバーへのガス導入装置 - 特許庁

To provide a method of opening a load lock chamber to the atmosphere and the load lock chamber, capable of opening the load lock chamber to the atmosphere in a short time without whirling up foreign matters in the interior of the load lock chamber, and to provide a semiconductor manufacturing apparatus.例文帳に追加

ロードロック室内部に異物を巻上げずに短時間で大気開放を行うことができるロードロック室の大気開放方法、ロードロック装置及び半導体製造装置を提供する。 - 特許庁