例文 (4件) |
カセットローダを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 4件
カセットローダ室10に連結モジュール300を取り外し可能に取り付ける。例文帳に追加
Connecting modules 300 are attached to a cassette loader chamber 10 so as to be removable. - 特許庁
カセットローダ室10の室壁12に、連結モジュール300、300’を取り外し可能に取り付ける。例文帳に追加
Connection modules 300 and 300' are attached detachably to a chamber wall 12 of a cassette loader chamber 10. - 特許庁
各連結モジュール300では、外ゲートバルブ62、ロードロック室52、ゲートバルブ64、搬送室54、ゲートバルブ66及び反応処理室56をカセットローダ室10からこの順に連結配置する。例文帳に追加
In each connecting module 300, an outer gate valve 60, a load lock chamber 52, a gate valve 66, and a reaction treatment chamber 56, are connected and arranged in this order from the chamber 10. - 特許庁
取り出したカセット6をカセットローダ9により受渡し部3上方へと搬送し、カセット姿勢変換機構11及びオリフラ/ノッチ合わせ機構12によりカセット6内のウェーハ5のオリフラ又はノッチ合わせを行う。例文帳に追加
The cassette 6, taken out from the cassette housing box 2, is transferred above the delivery section 3 by a cassette loader 9, and the orientation flats and notch matching of the wafers 5 inside the cassette 6 are aligned by a cassette position conversion mechanism 11 and an orientation flat/notch alignment mechanism 12. - 特許庁
例文 (4件) |
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