コンパティビリティの英語

従来の露光装置の光学系のほとんどがそのまま使用でき、コンパティビリティがあり、多光子露光装置として使用可能な露光装置を提供する。例文帳に追加

To provide an aligner which can utilize almost all optical systems of the conventional aligner as they are, has compatibility, and may also be used as a multiple photon aligner. - 特許庁

サスペンションメンバによる衝突エネルギーの吸収効率を高めるとともに、衝突対象物の衝突部分を平坦化してコンパティビリティを向上できる車体前部構造の提供を図る。例文帳に追加

To provide a car body front part structure capable of improving absorbing efficiency of impact energy by a suspension member and improving compatibility by flattening a collided part of a colliding object. - 特許庁

少なくとも、有機膜の上に、反射防止用ケイ素樹脂膜、その上にフォトレジスト膜を順次形成した基板であって、反射防止用ケイ素樹脂膜が、優れたレジストコンパティビリティと有機膜エッチング時の高いエッチング耐性の両方を兼ね備えており、このため、より精度の高いパターンを形成することができる基板を提供する。例文帳に追加

To provide a substrate having at least an antireflective silicone resin film deposited on an organic film and a photoresist film consecutively layered thereon, in which the antireflective silicone resin film has both of excellent resist compatibility and high etching durability upon etching of the organic film, and a pattern with higher accuracy is thereby formed. - 特許庁