サイクロトロン共鳴線の英語

さらに、Ｘ線マスクを作製する場合に、少なくとも吸収体パタンのＴａを電子サイクロトロン共鳴によるプラズマを用いたスパッタ法により形成する工程を含むＸ線マスクの製造方法とする。例文帳に追加

Furthermore, when manufacturing an X-ray mask, at least the Ta of the absorber pattern 11 is formed by a sputtering method, by a plasma of electron cyclotron resonance. - 特許庁

質量分析計に用いるイオン解離装置であって、イオンをイオンサイクロトロン共鳴部に導入するイオン導入部、導入されたイオンをトラップするイオンサイクロトロン共鳴部、前記トラップされたイオンに電子ビームを照射する電子ビーム照射部、および前記トラップされたイオンに赤外線レーザーを照射する赤外線レーザー照射部を備え、前記電子ビームと前記赤外線レーザーが、同一軸上でイオンに照射されることを特徴とするイオン解離装置を用いる。例文帳に追加

The electronic beam and the infrared laser are irradiated to the ion on the same axis. - 特許庁

基板上に低屈折率膜と高屈折率膜を交互に積層されてなる近赤外線カットフィルターの製造方法であって、それぞれの前記膜をマグネトロンスパッタリングにより成膜し、電子サイクロトロン共鳴型イオン源及びアシストイオン源に酸素を供給するとともに、プラズマを励起させて前記膜を酸化することを特徴とする。例文帳に追加

In the method for producing a cut filter for near IR rays in which low reflective index films and high reflective index films are alternately stacked on a substrate, the respective films are formed by magnetron sputtering, and oxygen is fed to an electron cyclotron resonance type ion source and an assist ion source, while plasma is excited so as to oxidize the films. - 特許庁