シチュウの英語

基板上の層の均一性を、係る層の研磨の最中にインシチュウで測定する方法である。例文帳に追加

The method is to measure uniformity in a layer on a substrate during polishing a concerning layer in situ. - 特許庁

基板１４上の層の均一性を、係る層の研磨の最中にインシチュウで測定する方法である。例文帳に追加

Uniformity in layers on a substrate 14 is measured in situ during the polishing of the layer concerned. - 特許庁

誘電層の堆積が完了された後で、第２のステップが次いで実行され、インシチュウのチャンバクリーニング操作を完了する。例文帳に追加

After completion of the dielectric layer, the second step is performed next, and the chamber cleaning operation of the in-situ is completed. - 特許庁

チャンバー内部のハードウェアに対してダメージを生じさせないインシチュウ・クリーニング方法及び装置を提供する。例文帳に追加

To provide an in-situ cleaning method and apparatus which do not cause damages to hardware in a chamber. - 特許庁

抵抗率が改善された、共形性の高い拡散バリアの、インシチュウによる構築を遂行する。例文帳に追加

To carry out the construction of a diffusion barrier which is improved in resistivity and has high conformity in an in-situ manner. - 特許庁

本方法は、膜堆積の後一般に実行されるインシチュウのチャンバクリーニング操作を２つの別個のステップに分解する。例文帳に追加

This method breakes down the chamber cleaning operation of in-situ being performed generally after stacking of a film into two separate steps. - 特許庁