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バイアスプラズマの英語
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「バイアスプラズマ」を含む例文一覧
該当件数 : 2件
続いて、ＩＣＰ装置の誘導プラズマ源及びバイアスプラズマ源を用いて残りの電極材料層３５をエッチングする（図１（ｄ））。例文帳に追加
Successively in Fig (d), the remaining electrode material layer 35 is etched by using the inductive plasma source of the ICP device and a bias plasma source. - 特許庁
この後、レジスト膜４を剥離後、バイアス−プラズマＣＶＤを用いてシリコン酸化膜５を溝に埋め込む形で形成する。例文帳に追加
Afterwards, the resist film 4 is released and while using bias-plasma chemical vapor deposition(CVD), a silicon oxide film 5 is formed thereafter while being embedded in the groove. - 特許庁
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