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ベルト研摩の英語
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英訳・英語 belt polishing
「ベルト研摩」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 5件
ベルト側面研摩方法およびベルト側面研摩装置例文帳に追加
BELT SIDE SURFACE POLISHING METHOD AND DEVICE - 特許庁
半導体ウエハの平面化の均一性を改良するため、研摩パッド/ベルトの選択的な加熱を使用した、化学機械研摩(CMP)装置及び方法を提供する。例文帳に追加
To provide chemical-mechanical polishing(CMP) equipment and its method, which use selective heating of a polishing pad/a belt in order to improve uniformity of planarizing a semiconductor wafer. - 特許庁
本清浄システムは、半径方向内側面に沿ったスロット(38)を有する複数のほぼダブテール形状のスロットブロック(30)と、研摩手段又はベルト(32)と、裏当てチューブ(34)とを含む。例文帳に追加
This cleaning system comprises a plurality of roughly dovetail-shaped slot blocks 30 having slots 38 along the radial inner surface, a grinding means or a belt 32, and a backing tube 34. - 特許庁
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