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ベークオーブンの英語
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この処理は、露呈特徴部の様々な部分、例えば様々な露呈特徴部又はクリチカル寸法に、様々な熱束を提供するように形成された露呈後ベークオーブン又はホットプレート等の熱変更システムからの様々な熱束を提供する。例文帳に追加
The treatment provides different portions of the exposure feature, such as different exposure features or critical dimensions, with different thermal fluxes from a thermal modification system, such as a post-exposure bake oven or hot plate configured to provide different thermal fluxes. - 特許庁
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