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ベークアウトの英語
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英訳・英語 bakeout
「ベークアウト」を含む例文一覧
該当件数 : 2件
真空チャンバをベークアウトし、冷却する方法及び装置を提供する。例文帳に追加
To obtain an improved method and apparatus for baking out and cooling down a semiconductor vacuum chamber. - 特許庁
半導体製造装置の配管経路の全体に亙ってベークアウトに必要な温度まで昇温可能にすると共に、清掃のためのメンテナンス作業を低減し作業効率を向上させる。例文帳に追加
To increase temperature required for bake-out over the entire piping route of a semiconductor manufacturing apparatus, and to improve working efficiency by reducing maintenance work for cleaning. - 特許庁
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