ベークアウトの英語

放射線源は、プロセスチャンバ内に普通配置されるベークアウトランプランプであってよい。例文帳に追加

The radiation source may be bakeout lamps which are normally disposed in a process chamber. - 特許庁

真空チャンバをベークアウトし、冷却する方法及び装置を提供する。例文帳に追加

To obtain an improved method and apparatus for baking out and cooling down a semiconductor vacuum chamber. - 特許庁

第１の面では、チャンバベークアウト中に、熱を真空チャンバ１１０のベークアウトランプからシールドへ、シールドから真空チャンバ内の他の部分へ伝導させる不活性ガスがチャンバ内へ導入される。例文帳に追加

In a first aspect, an inert gas which conducts heat from the other parts of a vacuum chamber within the vacuum chamber to the shield and from the shield to the other parts within the vacuum chamber is introduced into the chamber during chamber bake-out. - 特許庁

不活性ガスは、アルゴン、ヘリウム、または窒素であることが好ましく、チャンバベークアウト中に約500トルのチャンバ圧まで上昇させることが好ましい。例文帳に追加

The inert gas preferably comprises argon, helium or nitrogen and preferably raises the chamber pressure to about 500 Torr during chamber bake-out. - 特許庁

半導体製造装置の配管経路の全体に亙ってベークアウトに必要な温度まで昇温可能にすると共に、清掃のためのメンテナンス作業を低減し作業効率を向上させる。例文帳に追加

To increase temperature required for bake-out over the entire piping route of a semiconductor manufacturing apparatus, and to improve working efficiency by reducing maintenance work for cleaning. - 特許庁