メ力ニカルブースタポンプの英語

拡散接合を行うための接合装置１０を構成する接合容器１２には、窒素ガスボンベ２２、ロータリポンプ３０及びメカニカルブースタポンプ３１が接続されるとともに、圧力センサ３２が設置される。例文帳に追加

A nitrogen gas cylinder 22, a rotary pump 30 and a mechanical booster pump 31 are connected to a bonding vessel 12 which comprises a bonding apparatus 10 for performing diffusion bonding and also a pressure sensor 32 is installed. - 特許庁

そして、水素ガスの導入の直前には、高真空下にメカニカルブースタポンプ７５を含む真空排気系の真空洩れの有無を確認し、続いて、真空ポンプを停止して水素処理室１の圧力上昇試験を行い真空洩れのチェックを行う。例文帳に追加

Right before the hydrogen gas is introduced, the presence or not of vacuum leak from an evacuation system containing a mechanical booster pump 75 under a high vacuum is identified, followed by stopping the vacuum pump for performing pressure rise test in the hydrogen treatment chamber 1 and vacuum leak check. - 特許庁