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中性粒子分析器の英語
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二次イオンおよび後からイオン化された中性の二次粒子を分析するための質量分析器において、試料を照射することで二次粒子を発生させるための一次イオンビームを作り出すイオン源と、二次粒子の質量分析のための分析ユニットとを設け、一次イオンを構成する原子１個あたりの運動エネルギーを20eV以下の領域で制御できる機能を装備させる。例文帳に追加
The mass spectroscope for analyzing secondary ions and neutral secondary particles ionized afterward to be analyzed is provided with an ion source for making primary ion beams for generating secondary particles by irradiating the sample, and an analyzing unit for mass spectrometry of the secondary particles, and is also provided with a function capable of controlling kinetic energy per atom structuring a primary ion in a range of 20 eV or less. - 特許庁
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