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半四分位範囲の英語
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英訳・英語 semi-interquartile range
「半四分位範囲」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
半導体集積回路の平坦化工程において化学的機械的研磨に用いられる研磨液であって、四級アンモニウムカチオン、有機酸、無機粒子、並びに、下記一般式(I)で示される化合物及び下記一般式(I)で示される構造単位を含む高分子の少なくとも一方を含み、pHが1〜7の範囲である研磨液である。例文帳に追加
The polishing liquid used for chemical mechanical polishing in a planarization process of a semiconductor integrated circuit contains a quaternary ammonium cation, an organic acid, an inorganic particle, and at least one of a compound expressed by general formula (I) and a polymer including a structure unit shown by the general formula (I), and has a pH of 1 to 7. - 特許庁
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