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同形反応の英語
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英訳・英語 isomorphic response
「同形反応」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
反応室2内下部に配置したサセプタ3の上面に、処理すべき基板Wとほぼ同形状の下部電極28を複数、隣り合うもの同士が各々独立した形態となるよう凸状に配設する。例文帳に追加
A plurality of lower electrodes 28 having almost the same shape as a treating substrate (W) are put in a projected state on an upper face of a scepter 3 at the lower part of a reactive chamber 2, in such a way that the adjoining electrodes 28 are independent of each other. - 特許庁
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