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変調反射分光法の英語
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英訳・英語 modulated reflection spectroscopy
「変調反射分光法」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 2件
ウエハ上に積層ゲート絶縁膜のベース層となる１ｎｍ以下のシリコン酸化膜を形成し、光変調反射分光法で厚みを測定する。例文帳に追加
A silicon oxide film with a thickness of 1 nm or less that becomes the base layer of the lamination gate insulation film is formed on the wafer to measure thickness by the light modulation reflection spectral method. - 特許庁
減圧環境下において、ウエハの自然酸化膜を除去するための洗浄を行なって、ウエハの半導体領域の表面状態を光変調反射分光法などによって評価する。例文帳に追加
Under reduced pressure environment, washing is made to eliminate the natural oxide film of a wafer, thus evaluating the surface state of the semiconductor region of the wafer by the light modulation reflection spectral method or the like. - 特許庁
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modulated reflection spectroscopy
JST科学技術用語日英対訳辞書
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