推力定数の英語

ステージ駆動用のリニアモータの性能を決定する推力定数、推力リップルの測定方法について、測定精度の向上を図ること。例文帳に追加

To enhance the accuracy in measurement, as regards the method of measuring a thrust constant and a thrust ripple which decide the performance of a linear motor to drive a stage. - 特許庁

上方のＹ軸リニアモータ７６Ａ，７８ＡでレチクルステージＲＳＴをＹ方向に駆動するときに、下方のＹ軸リニアモータ７６Ｂ，７８Ｂでは推力を発生しない状態にして、その各相のコイルで発生する起電力を検出して推力定数を補正する。例文帳に追加

When the reticle stage RST is driven in the direction of Y by the upper Y-axis linear motors 76A, 78A, the lower Y-axis linear motors 76B, 78A are set so as not to generate thrusts, electromotive forces generated from coils of the respective phases are detected, and thrust constants are corrected. - 特許庁

次に、下方のＹ軸リニアモータ７６Ｂ，７８ＢでレチクルステージＲＳＴをＹ方向に駆動するときに、上方のＹ軸リニアモータ７６Ａ，７８Ａでは推力を発生しない状態にして、その各相のコイルで発生する起電力を検出して推力定数を補正する。例文帳に追加

Then, when the reticle stage RST is driven in the direction of Y by the lower Y-axis linear motors 76B, 78B, the upper Y-axis linear motors 76A, 78A are set so as not to generate thrusts, electromotive forces generated from the coils of the respective phases are detected, and the thrust constants are corrected. - 特許庁