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最急勾配法の英語
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最大限の機械的安定性、あるいは最大限の接着面を有するキャップウエハをボンディングパッドのできるだけ近くに配置できるため、出来るだけ急勾配のフランクが形成されている単結晶シリコン製の装置およびその製造方法を提供する。例文帳に追加
To provide a device made of single-crystal silicon and its manufacturing method, for forming a flank of a maximum steep slope, by arranging a cap wafer having the maximum mechanical stability or the maximum adhesive surface closest to a bonding pad. - 特許庁
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