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浸漬式エッチング装置の英語
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このような貯留槽１１を浸漬式基板処理装置に利用し、所定の処理、例えば洗浄、エッチング、反応の際の置換などを行う。例文帳に追加
The tank 11 is used for the dip type substrate treatment equipment, and prescribed treatment such as cleaning, etching and substitution at the time of reaction is performed. - 特許庁
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