照射野寸法の英語

放射線検出面上における照射野の寸法を指定する手段と、前記指定された照射野の寸法から絞り量を求める手段と、放射線源の前方に配置される放射線絞りを調整する手段を設けたことを特徴とする、Ｘ線発生装置。例文帳に追加

The X-ray generator is provided with a means for assigning the size of an irradiation field on a radiation detection surface, a means for determining the diaphragm amount from the size of the assigned irradiation field and a means for adjusting the radiation diaphragm arranged in front of the radiation source. - 特許庁

本発明は電子ビーム描画装置の描画方法及び電子ビーム描画装置に関し、ビーム漏れとビームプロファイルのすそ野（レジスト中に蓄積するエネルギーのすそ野を含む）によるパターン寸法への影響を照射時間で補正することにより、より高精度の描画方法を提供することを目的としている。例文帳に追加

To provide a drawing method with higher accuracy by correcting, by an irradiation time, an influence on a pattern dimension due to beam leakage and a foot of a beam profile (including a foot of an energy accumulated in a resist) in relation to a drawing method of an electron beam drawing device and to the electron beam drawing device. - 特許庁