真空紫外線照射除電装置の英語

ランプ部１の発光装置２Ａ〜２Ｄから放射される真空紫外線は、ランプ部１の下方に設けられた照射台４上に載置された除電対象物５に照射される。例文帳に追加

The vacuum ultraviolet ray irradiated from the light-emitting devices 2A to 2D of the lamp part 1 is irradiated on an object from which static electricity is to be eliminated 5 put on an irradiation stand 4 arranged under the lamp part 1. - 特許庁

本発明の基板除電装置は、真空中で基板に残留した電荷を除去するものであって、所定の除電用ガス５０を導入するように構成され、除電すべき基板２０を収納するための気密なカセット室３と、カセット室３に導入された除電用ガス５０に対して紫外線６２を照射する紫外線照射手段６０を有する。例文帳に追加

This substrate discharging device for removing electric charges remaining in the substrate in a vacuum comprises an airtight cassette chamber 3 constituted so as to introduce prescribed gas 50 for discharging for housing the substrate 20 to be discharged and an ultraviolet ray irradiation means 60 for irradiating the gas 50 for discharging introduced to the cassette chamber 3 with ultraviolet rays 62. - 特許庁