硼酸トリメチルの英語

ＣＨ_４（メタン）をＨ_２で希釈した第１原料ガス、Ｂ（ＯＣＨ_３）_３（硼酸トリメチル）をアルゴンガスでバブリングした第２原料ガス及び窒素をＨ_２で希釈した第三原料ガスを、流量制御装置を介してチャンバに導入する。例文帳に追加

First source gas of CH_4 (methane) diluted by H_2, second source gas with B(OCH_3)_3 (trimethyl borate) and third source gas of nitrogen diluted by H2 are guided into a chamber through a flow control device. - 特許庁

金属心軸１１などの基材外周にフッ素樹脂層１３を有する定着部材のフッ素樹脂層１３を、トリメチルボロンガスまたは硼酸水溶液２１の存在下、光を照射することにより表面処理された内面を有するフッ素樹脂チューブ１３Ａにより形成する。例文帳に追加

A fluorinated resin layer 13 for fixing member which has the fluorinated resin layer 13 on the outer circumference of base material of a metal core shaft 11, or the like, is formed with a fluorinated resin tube 13A, having an inner surface treated by applying light in the presence of trimethylboron gas or boric acid aqueous solution 21. - 特許庁