磁気中性面の英語

複数の直線状磁気中性線放電プラズマを同時に適用して大面積矩形基板全域への均質処理を可能とした磁気中性線放電プラズマ処理装置を提供する。例文帳に追加

To provide a magnetic neutralline discharge plasma treatment device in which uniform treatment to the whole area of the large-area rectangular substrate is made possible by applying simultaneously a plurality of linear magnetic neutralline discharge plasma. - 特許庁

本発明による放電プラズマ処理装置においては、磁場発生手段を、真空チャンバ外で真空チャンバ内に配置される被処理物の処理表面に平行に配列された少なくとも二つの直線状電流棒で構成し、隣接した直線状電流棒の間の真空チャンバ内に少なくとも一つの直線状磁気中性線を形成するように構成したことを特徴としている。例文帳に追加

In the discharge plasma treatment device, the magnetic field generating means is constructed of at least two linear current bars arranged on the outside of the vacuum chamber in parallel to the treatment surface of the treated object arranged in the vacuum chamber and at least one linear magnetic neutral conductor is formed in the vacuum chamber between the adjoining linear current bars . - 特許庁

本発明によるハーフトーン型位相シフトマスクは、石英ガラス基板上に、位相差が１３５°以下となるような膜厚をもつＭｏＳｉ系のハーフトーン位相シフト膜を設け、磁気中性線放電プラズマによるドライエッチングで石英ガラス基板を垂直性よく且つ面内均一性よく掘り込んで構成される。例文帳に追加

The halftone phase shift mask is produced by forming a MoSi-based halftone phase shift film having a film thickness giving a phase difference of ≤135° on a quartz glass substrate and engraving the quartz glass substrate with high perpendicular property and in-plane uniformity by dry etching by magnetic neutral line discharge plasma. - 特許庁