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自然ルテニウムの英語
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英訳・英語 native ruthenium
「自然ルテニウム」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
その後、自然酸化によりルテニウムシリサイドの酸化膜からなるバリア膜２７をルテニウムシリサイド膜２２の表面に形成し、さらに孔２６の内部に下部電極となるルテニウム膜２８を形成する。例文帳に追加
Further, a barrier film 27 comprising an oxide film of the ruthenium silicide is formed on the surface of the ruthenium silicide film 22 by means of natural oxidation, and a ruthenium film 28 serving as the lower electrode is formed inside the hole 26. - 特許庁
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