近似的再構成の英語

ターゲット形状の再構成時に、基板上の複雑なターゲットの輪郭を効率的かつ迅速に求めるために、１つの輪郭を構成する様々な形状の様々な自由度または可変パラメータは、単純な式を使用して可変パラメータを相互にリンクする、またはその輪郭を構成する様々な形状を考慮に入れるように、全体的輪郭の形状を近似することによって減少させることができる。例文帳に追加

In target shape reconstruction, in order to determine efficiently and quickly the profile of complex targets on a substrate, the various degrees of freedom or variable parameters of the various shapes constituting a single profile can be reduced when the variable parameters are linked mutually by using simple formulae or when the shape of the overall profile is approximated with consideration given to the various shapes constituting the profile. - 特許庁