電界印加蒸着の英語

次いで、高周波電源１３００ａから蒸着マスク１３０２ａに高周波電界を印加してガス（Ａｒ、Ｈ、Ｆ、ＮＦ3、またはＯ）を励起してプラズマ１３０１を発生させる。例文帳に追加

Next, a high-frequency electric field is applied from a high-frequency power supply 1300a to the vapor deposition mask 1302a, the gas (Ar, H, F, NF3 or O) is excited, and a plasma 1301 is generated. - 特許庁

さらに、本発明は、容器内に収容された有機発光材料を、容器内に収納され、空孔を含む媒体とともに加熱することにより蒸発させ、基板上に蒸着膜を堆積する工程と、少なくとも蒸着膜に電界を印加する電極を形成する電極形成工程とを含む有機ＥＬ素子の製造方法とした。例文帳に追加

Furthermore, the manufacturing method of the organic EL elements includes a production process in which an evaporated film is deposited on a substrate by making an organic luminescent material contained in the container evaporate by heating with the medium accommodated in the container and with pores, and at least an electrode forming production process in which an electrode, by which an electric field is impressed on the evaporated film, is formed. - 特許庁