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「3ユニットを待機させている」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 3件
本発明のウェハ研磨装置1は、ロード・アンロード部3から研磨ヘッド42へ又はその反対へと移るウェハ10を一時的に待機させる上下2段構造のウェハ載置台を有するウェイティングユニット43を研磨部4に設けると共に、この上段及び下段のウェハ載置台が個別に移動可能な構造となっている。例文帳に追加
The wafer polisher 1 comprises a polishing unit 4 which has a waiting unit 43, having an upper and lower wafer mounts in a two-story structure for temporarily standing a water 10 to be transferred from an loader- unloader 3 to a polishing head 42 or vice versa, and the upper and lower wafer mounts are movable individually. - 特許庁
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