Al Chambersとは 意味・読み方・使い方

The operating air AL is introduced through the sliding shoe 60 into the operating chambers 34, 36 on both sides of an Air piston 6, and discharged air is transferred from the operating chambers 34, 36 to a peripheral outside air A.例文帳に追加

該滑りシュー６０を介して作業空気ＡＬは、空気ピストン６の両側の作業室３４，３６へ導かれ、かつ排気は作業室３４，３６から周辺外気Ａへ移送される。 - 特許庁

A metallic coating process is preferably carried out in an integrated processing system that includes both PVD and CVD processing chambers so that once the substrate is introduced into a vacuum environment, the metallic coating of the vias and contacts can be carried out without the formation of an oxide layer over the CVD Al layer.例文帳に追加

金属被覆法は、統合された処理システムで実施されるのが好ましく、そのシステムは、ＰＶＤおよびＣＶＤ処理チャンバの両方を含み、基板が真空環境に入ると、バイアおよび接点の金属被覆が、ＣＶＤによるＡｌ層上に酸化物層を形成することなく行うことができる。 - 特許庁