Ar collisionとは 意味・読み方・使い方

At the time of sputtering, a negative voltage is applied to the target, a target surface has negative potential, sputtering is started by a collision of Ar+ and sputtered CoCrPt and SiO_2 are deposited on the surface of an intermediate layer 5.例文帳に追加

スパッタリング時は、ターゲットに負の電圧が印加され、ターゲット表面が負の電位になり、Ａｒ＋が衝突することでスパッタリングが始まり、スパッタされたＣｏＣｒＰｔとＳｉＯ_２は中間層５の表面に堆積する。 - 特許庁

When vacuum deposition is performed, the frequency in the collision of the respective particles is increased by the presence of the Ar gas, thus Si and Co are sufficiently mixed, and an Si-Co alloy film 35 having satisfactory compositional uniformity can be formed on a base material sheet 31.例文帳に追加

真空蒸着を行うと、Ａｒガスの存在によって、各粒子の衝突回数が増大するので、Ｓｉ，Ｃｏが十分混合されて、基材シート３１上に、組成均一性の良好なＳｉ−Ｃｏ合金膜３５が形成される。 - 特許庁