Auger spectroscopy analysisとは 意味・読み方・使い方

The analysis method is at least one method selected from the group consisting of transmission electron microscope, scanning electron microscope, electron probe microanalysis, Auger electron spectroscopy, atom probe, infrared spectroscopy, laser Raman spectroscopy, inductive coupled plasma spectroscopy, liquid chromatography, and gas chromatography.例文帳に追加

該分析方法は、透過型電子顕微鏡、走査型電子顕微鏡、電子プローブマイクロアナリシス、オージエ電子分光、２次イオン質量分析、アトムプローブ、赤外分光、レーザーラマン分光、誘導結合プラズマ、液体クロマトグラフ、ガスクロマトグラフからなる群より選択される少なくとも一つの方法である。 - 特許庁

When a conductive foreign substance removal probe is used, the foreign substance or the scraped residue of the foreign substance is subjected to composition analysis by Auger electron spectroscopy or secondary ion mass spectrometry.例文帳に追加

導電性の異物除去探針の場合にはオージェ電子分光法または二次イオン質量分析法で異物または異物の削り滓を組成分析する。 - 特許庁

When the substance is gathered on a conductive pattern by a foreign substance removal probe, the foreign substance or the scraped residue of the foreign substance is subjected to composition analysis by Auger electron spectroscopy or secondary ion mass spectrometry.例文帳に追加

異物除去探針で導電性のパターン上に集めた場合にはオージェ電子分光または二次イオン質量分析法で異物または異物の削り滓を組成分析する。 - 特許庁

A sample is pulverized, and resulting pulverized powder 1 is used for analysis in a state that the powder 1 is embedded into a conductive material 2, in a energy spectral analysis method of a charged particle where energy of the charged particle is dispersed into its spectral components in an Auger electron spectroscopy or an X-ray electron spectroscopy to be measured.例文帳に追加

オージェ電子分光法又はＸ線電子分光法の如く荷電粒子をエネルギー分光し、測定する荷電粒子エネルギー分光分析方法において、試料を粉砕し、この試料粉砕物１を導電性物質２に埋め込んだ状態で分析に供することを特徴とする、荷電粒子エネルギー分光分析方法。 - 特許庁