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Since stresses are smaller than the chromium-base BM films, the particle generation does not occur and the problem of the environment pollution does not occur even at the time of etching.例文帳に追加
クロム系ＢＭ膜に比べ、応力が小さいのでパーティクル発生がなく、また、エッチングの際にも公害問題が生じない。 - 特許庁
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