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EB writingとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 電子線描画
「EB writing」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 3件
The method also includes a step of forming a pattern by using an EB direct writing machine on this EB resist 107 while aligning by using a mark 108(F).例文帳に追加
そして、マーク108を用いて位置合わせを行いながら、このEBレジスト107にEB直接描画機を用いてパターンを形成する(F)。 - 特許庁
To provide a processing method which uses graphic data for EB writing formed by coarse address grids from CAD source data expressed by fine address grids and obtains graphic data for EB writing removed of rounding.例文帳に追加
細かいアドレスグリッドで表現されたCADソースデータから粗いアドレスグリッドで生成されたEB描画用の図形データを用い、これより、丸め込みを除去したEB描画用の図形データを得る処理方法を提供する。 - 特許庁
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