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Metal oxide semiconductor gas sensorsとは 意味・読み方・使い方
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To provide a method of manufacturing gas sensors, in which a metal oxide semiconductor film used for the gas sensors is a uniform membrane and has fine particle diameters by means of a wet method advantageous in terms of costs.例文帳に追加
本発明は、ガスセンサに用いる金属の酸化物半導体膜を、コスト的に有利な湿式法で、しかも均一な薄膜で微細な粒子径を有するガスセンサの製造方法の提供を目的とする。 - 特許庁
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