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Planar Magnetron Sputtering Systemとは 意味・読み方・使い方
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PLANAR MAGNETRON SPUTTERING SYSTEM例文帳に追加
プレーナーマグネトロンスパッタリング装置 - 特許庁
PLANAR MAGNETRON SPUTTERING SYSTEM例文帳に追加
平板マグネトロンスパッタリング装置 - 特許庁
To provide a planar magnetron sputtering system capable of improving efficiency of target utilization and preventing deterioration in film quality.例文帳に追加
ターゲットの利用効率を向上させると同時に膜質の劣化を防止できるプレーナーマグネトロンスパッタリング装置を提供する。 - 特許庁
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