RCU rateとは 意味・読み方・使い方

This adjustment is realized by the use of the chemical mechanical abrasive water-based dispersing member containing the abrasive speed rate adjustment agent, an abrasive agent, an oxidant agent, and water, and the a ratio (RBM/RCu) of the abrasive speed (RBM) of the barrier metallic film to the abrasive speed (RCu) of the copper film is 0.5 to 200.例文帳に追加

この調整は、ベンゾトリアゾール等の研磨速度比調整剤、研磨剤、酸化剤および水を含有し、銅膜の研磨速度（Ｒ_Cu）に対するバリアメタル膜の研磨速度（Ｒ__BM）の比（Ｒ_BM／Ｒ_Cu）が０．５〜２００である化学機械研磨用水系分散体により行うことができる。 - 特許庁