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Reticle Rotation Errorとは 意味・読み方・使い方
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Marks are detected at each position in the positive/negative directions of the X axis and in the positive/negative directions of a Y axis from the light axis, thus determining the rotation, magnification, and orthogonal error of the reticle fiducial mark 51.例文帳に追加
光軸上からＸ軸の正・負方向及びＹ軸の正・負方向の各位置においてマーク検出を行うことにより、レチクルフィジシャルマーク５１の回転・倍率・直交誤差を知ることができる。 - 特許庁
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