Reticle Stageとは 意味・読み方・使い方

CANTILEVER RETICLE STAGE FOR ELECTRON BEAM EXPOSURE SYSTEM例文帳に追加

電子線露光装置用片持ちレチクルステージ - 特許庁

The reticle cover (101) covers a surface of the reticle to be mounted on the reticle stage while the reticle (103) is not mounted on the reticle stage of a photolithography machine.例文帳に追加

本発明によるレチクル・カバー（１０１）は、レチクル（１０３）が露光装置のレチクル・ステージに取り付けられていないときに、レチクルの、レチクル・ステージに取り付けられる面を覆う。 - 特許庁

To measure a position of a reticle stage at high accuracy.例文帳に追加

レチクルステージの位置を高精度に計測する。 - 特許庁

A first reticle is removed from the reticle stage using the first hand of the robot, and a second reticle can be loaded on the reticle stage using the second hand.例文帳に追加

ロボットの、第１のハンドを用いてレチクルステージから第１のレチクルを取り除き、第２のハンドを用いてレチクルステージ上に第２のレチクルをロードすることができる。 - 特許庁

A reticle stage 15 has an electrostatic chuck 21 for holding a reticle.例文帳に追加

レチクルステージ１５は、レチクルを保持するための静電チャック２１を備えている。 - 特許庁

In the equipment, reticle stage equipment 10 comprises a reticle stage RST which can move in Y direction on a reticle stage polishing plate 11, and a counter mass which moves in opposite direction with respect to the reticle stage RST according to a movement of the reticle stage RST in the Y direction.例文帳に追加

レチクルステージ装置１０は、レチクルステージ定盤１１上をＹ方向に移動可能なレチクルステージＲＳＴと、レチクルステージＲＳＴのＹ方向への移動に応じてレチクルステージＲＳＴとは反対方向に移動するカウンタマスとを備える。 - 特許庁

LITHOGRAPHY SYSTEM HAVING RETICLE STAGE REMOVAL SYSTEM例文帳に追加

レチクルステ−ジ取り出しシステムを有するリソグラフィシステム - 特許庁

In a stage device having a reticle stage guide 1a and a reticle stage ceiling plate moving on the stage guide, a plurality of heaters 4a-9a are provided on the rear side of the reticle stage guide 1a.例文帳に追加

レチクルステージ天板とレチクルステージガイド１ａを有し、ステージガイド上をステージ天板が移動するステージ装置において、レチクルステージガイド１ａの裏側には、複数のヒータ４ａ〜９ａが設けられている。 - 特許庁