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SEAL;DUSTの英語
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To provide a shaft seal dust-proof structure of a turbo molecular pump, preventing penetration of corrosive gas and fine particles into the motor housing of the turbo molecular pump in the turbo molecular pump performing vacuum exhaustion of corrosive gas and gas containing fine particles such as dust.例文帳に追加
腐食性ガスや粉塵等の微粒子を含むガスの真空排気を行なうターボ分子ポンプに対し、該ターボ分子ポンプのモータハウジング内に前記腐食性ガス及び微粒子の浸入を防止できるようなターボ分子ポンプの軸封防塵構造を提供する。 - 特許庁
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