SIMS depth profileとは 意味・読み方・使い方

Subsequently, a concentration profile showing a correlation between a depth from the surface of wafer and the concentration of dopant impurity is measured through an SIMS (secondary ion mass spectroscope).例文帳に追加

つづいてＳＩＭＳを利用して、ウェーハ表面からの深さとドーパント不純物濃度との相関を示す濃度プロファイルを計測する。 - 特許庁

When the distribution in the depth direction of the group V element in the group IV semiconductor is measured by an SIMS (secondary ion mass spectrometry) method, a primary ion species, a primary ion acceleration energy, and a primary ion incident angle are limited in the range for reducing profile shift and sensitivity dependency in the depth direction.例文帳に追加

ＳＩＭＳ法によりＩＶ族半導体中のＶ族元素の深さ方向分布を測定する際に、一次イオン種、一次イオン加速エネルギー、及び、一次イオン入射角度をプロファイルシフト及び深さ方向の感度依存性を少なくする範囲に限定する。 - 特許庁