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Vacuum pumping unitとは 意味・読み方・使い方
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該当件数 : 1件
In this cryopump control apparatus 80 controlling an evacuation process of a cryopump that includes a cryopanel 48 which cools and thus condenses or adsorbs gas, and a pump container 36 which contains the cryopanel 48, a pressure control unit 94 stops vacuum pumping when detecting that a pressure in the pump container 36 decreases to a reference pressure.例文帳に追加
気体を冷却して凝縮または吸着させるクライオパネル４８と、クライオパネル４８を収容するポンプ容器３６とを備えるクライオポンプの排気処理を制御するクライオポンプ制御装置８０において、圧力制御部９４は、ポンプ容器３６内の圧力が基準圧力まで低下したことを検知したときに真空引きを停止させる。 - 特許庁
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