Vacuum Pumping Systemとは 意味・読み方・使い方

To provide a new vacuum pumping system structure avoiding destruction of a dry primary pump when pumping low thermal conductivity gas.例文帳に追加

低熱伝導率ガスをポンピングする時に、ドライ一次ポンプの破壊を回避する新しい真空ポンピングシステム構造を提供する。 - 特許庁

DEVICE FOR INTEGRATING VACUUM PUMPING SYSTEM IN CLEAN ROOM FALSE FLOOR IN SEMICONDUCTOR COMPONENT MANUFACTURING PLANT例文帳に追加

半導体構成部品製造工場のクリーンルーム疑似床に真空ポンプ系を組み込むための装置 - 特許庁

To provide a vacuum pumping system and method in conjunction with a sputter reactor having a vacuum-pumped magnetron chamber sealed to the target backing plate.例文帳に追加

ターゲット及びそのバッキングプレートにシールされた真空排気マグネトロンチャンバを有するスパッタリアクタの真空ポンプシステム及び方法を提供する。 - 特許庁

METHOD FOR REGENERATING GAS-STORAGE TYPE VACUUM PUMPING SYSTEM AND METHOD FOR CONTROLLING SUBSTRATE-TREATING APPARATUS USING THE SAME例文帳に追加

気体溜め込み式排気系の再生方法及びこれを用いた基板処理装置の制御方法 - 特許庁

The dissolved organic or soluble material is eliminated using an air venting or pumping system such as a vacuum system.例文帳に追加

バキューム・システムなどのエアー・ベントまたはポンピング・システムを使用しながら、溶解した有機または可溶性の材料が除去される。 - 特許庁

In the vacuum pumping system 1000, the turbo-molecular pump 30 is connected through a pipe 40 into the vacuum chamber 20 provided with the cold trap 10.例文帳に追加

また、このようなコールドトラップ１０が設置された真空チャンバ２０内に配管４０を介してターボ分子ポンプ３０を接続した真空排気装置１０００とした。 - 特許庁

The vacuum pumping system has a spiral groove vacuum pump 37 having a rotor rotating at a high speed on the surface of which the spiral grooves are formed, and a rotary pump 38.例文帳に追加

前記真空排気手段は、高速で回転するロータの表面に渦巻き状の溝が設けられた渦巻き溝真空ポンプ３７と、ロータリーポンプ３８と、を有している。 - 特許庁

In this film layer- forming process, the pressure in the reaction chamber is maintained in the range of from 1×102 to 2×104 Pa by means of a vacuum pumping system.例文帳に追加

この成膜工程では、真空排気装置により反応室の圧力を１×１０^2 〜２×１０^4 Ｐａの範囲内に維持する。 - 特許庁