Vacuum Pumping Roomとは 意味・読み方・使い方

INSPECTION DEVICE AND METHOD OF VACUUM PUMPING AUXILIARY EXHAUST ROOM OF INSPECTION DEVICE例文帳に追加

検査装置及び検査装置の予備排気室を真空排気する方法 - 特許庁

DEVICE FOR INTEGRATING VACUUM PUMPING SYSTEM IN CLEAN ROOM FALSE FLOOR IN SEMICONDUCTOR COMPONENT MANUFACTURING PLANT例文帳に追加

半導体構成部品製造工場のクリーンルーム疑似床に真空ポンプ系を組み込むための装置 - 特許庁

The electron microscope introducing a sample through a spare exhaust room for carrying out measurement and observation by electron beams is to be provided with an exchange room for an electrostatic chuck different from the spare exhaust chamber, and a vacuum pump for vacuum pumping the exchange chamber.例文帳に追加

上記課題を解決するために、電子ビームによる測定，観察を行うために予備排気室を経由して、試料を導入する電子顕微鏡において、前記予備排気室とは異なる静電チャックの交換室と、当該交換室を真空排気するための真空ポンプを備えた電子顕微鏡を提案する。 - 特許庁

The vacuum pumping system is integrated in the intermediate space between a supporting slab 21 and a clean room false floor formed from the juxtaposition of false floor tiles 100 held by posts mounted on the supporting slab 21.例文帳に追加

本発明によれば、真空ポンプ系１５、１６は、支持スラブ２１と、支持スラブ２１上に載る柱によって保持される疑似床タイル１００の並置から形成されるクリーンルーム疑似床との間の中間空間に組み込まれる。 - 特許庁