WAVEFRONT ABERRATIONとは 意味・読み方・使い方

WAVEFRONT ABERRATION MEASURING DEVICE AND METHOD AND WAVEFRONT ABERRATION ADJUSTING METHOD例文帳に追加

波面収差計測装置および方法、並びに波面収差調整方法 - 特許庁

The wavefront aberration A1 is corrected, by using the wavefront aberration B to calculate the wavefront aberration A of the laser light from the laser light irradiating device 10.例文帳に追加

波面収差Ｂを用いて波面収差Ａ１を補正して、レーザ光照射装置１０からのレーザ光の波面収差Ａを計算する。 - 特許庁

WAVEFRONT ABERRATION MEASURING METHOD, CALIBRATION METHOD FOR WAVEFRONT ABERRATION MEASUREMENT SYSTEM, WAVEFRONT ABERRATION MEASUREMENT EQUIPMENT, AND PROJECTION EXPOSURE APPARATUS例文帳に追加

波面収差測定方法、波面収差測定系の校正方法、波面収差測定装置、及び投影露光装置 - 特許庁

WAVEFRONT ABERRATION MEASURING APPARATUS, WAVEFRONT ABERRATION MEASURING METHOD, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

波面収差測定装置、波面収差測定方法、露光装置およびデバイス製造方法 - 特許庁

WAVEFRONT ABERRATION MEASUREMENT METHOD, MASK, WAVEFRONT ABERRATION MEASUREMENT DEVICE, EXPOSURE DEVICE, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

波面収差測定方法、マスク、波面収差測定装置、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁

WAVEFRONT ABERRATION MEASURING METHOD, WAVEFRONT ABERRATION MEASURING DEVICE, PROJECTION EXPOSURE APPARATUS, AND MANUFACTURING METHOD OF PROJECTION OPTICAL SYSTEM例文帳に追加

波面収差測定方法、波面収差測定装置、投影露光装置、及び投影光学系の製造方法 - 特許庁

WAVEFRONT ABERRATION MEASURING DEVICE, WAVEFRONT ABERRATION MEASURING METHOD, EXPOSURE DEVICE, EXPOSURE METHOD, AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE例文帳に追加

波面収差計測装置、波面収差計測方法、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法 - 特許庁

WAVEFRONT ABERRATION CORRECTION MIRROR AND OPTICAL PICKUP例文帳に追加

波面収差補正ミラーおよび光ピックアップ - 特許庁