Zernike polynomialsとは 意味・読み方・使い方

Preferably, the reference shape of the reflection face is stored in relation to a prescribed dimensionality of Zernike polynomials.例文帳に追加

反射面の基準反射面形状をゼルニケ多項式の所定の次元に関連させて記憶しておくことが望ましい。 - 特許庁

The wavefront aberration is obtained by simulation on the basis of the Zernike polynomials of surface shapes of first faces of the lenses, the parallel plane plate, and the glass plate, and a rotation angle of each optical element which minimizes the wavefront aberration is obtained.例文帳に追加

このようにして求まった、各レンズや平行平板、ガラスの第１面の面形状のZernike多項式を基に、波面収差をシミュレーションによって求め、この波面収差を最小にする各光学素子の回転角を求める。 - 特許庁

From an intra-surface tendency Z of the measured line width of the wafer, an improvable intra-surface tendency Za and a non-improvable intra-surface tendency Ze by the temperature correction of the thermal plate are calculated by using Zernike polynomials.例文帳に追加

その測定線幅の面内傾向Ｚから、ゼルニケ多項式を用いて、温度補正により改善可能な面内傾向Ｚａと改善不能な面内傾向Ｚｅが算出される。 - 特許庁